Aplicación de tubos de acero inoxidable en la industria de semiconductores Los tubos de acero inoxidable, especialmente los tubos de acero inoxidable sin costura de alta pureza (316L, 316L EP, BA), son un material base clave indispensable en las plantas de fabricación de semiconductores (Fab), y desempeñan el principal...
Aplicación de tubos de acero inoxidable en la industria de semiconductores.
Los tubos de acero inoxidable, especialmente los tubos de acero inoxidable sin costura de alta pureza (316L, 316L EP, BA), son un material base clave indispensable en las plantas de fabricación de semiconductores (Fabs), y realizan principalmente tareas de transporte de gases ultrapuros, productos químicos y agua ultrapura.
La producción de chips semiconductores es extremadamente sensible a la contaminación:
1. Contaminación por partículas
2. Contaminación por metales
3. Contaminación por humedad
4.Contaminación con materia orgánica (TOC)
Incluso las impurezas de nivel nanométrico pueden provocar el fallo de toda la oblea.
Por tanto, el sistema de transporte debe contar con:
1. Pureza ultraalta
2. Emisión extremadamente baja de impurezas.
3.Resistencia a la corrosión
4.Sin formación de partículas
5.La capacidad para un trabajo estable a largo plazo.
Y los tubos de acero inoxidable 316L electropulido (EP) son ahora la solución principal.
Principales escenarios de aplicación:
1.Sistemas especiales de suministro de gas.
2. Sistemas de agua ultrapura
3. Sistemas de suministro de productos químicos
4.Sistemas de vacío
Estándares de tubos inoxidables ampliamente utilizados en la industria de semiconductores
| Nombre | Estándar |
| Materiales | 316L |
| Estándar | ASTM A269 |
| Estándar de pureza ultra alta | SEMIF20 |
| Tratamiento superficial | B.A., EP. |
| Rugosidad | Ra ≤ 0,25 µm |
| Método de soldadura | soldadura orbital |
| Clase de limpieza | Clase 100/ISO 5 |
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